关键词：微机械开关;传感器;加工
摘 要：基于微机械开关结构的传感器，作为微机械加工技术与传统电化学传感器技术相结合的产物，已经展现出其在新一代传感器技术中的独特优势。本文对各类微机械开关传感器进行了综合测试，其目的是为综合比较不同微型传感器的性能及优势，为日后硅基板微加工技术的进一步探索提供相应支撑，同时也为微机械开关传感器在船舶开关电器的发展方面提供新的探索思路。本文经测试研究表明各类传感器在反应速度、样品量需求、灵敏度以及人体植入监测等方面均表现出不同的优势与特点，随着元件尺寸的缩小，传感器的性能得到了显著提升。随着硅基微机械加工技术的不断提升，传感器元件的尺寸有望进一步缩小，推动电化学传感器技术的进一步发展。
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