关键词：MEMS谐振器;参激共振;非线性;幅频响应
摘 要：静电参激的微机械谐振器具有响应幅值大、相位噪声小等优势，近年来成为MEMS动力学领域研究热点.本文研究了微机械梁谐振器在强静电参激下的高阶非线性响应及基于电热电流的响应调控方法.首先，实验发现强静电力参数激励下微机械梁谐振器的幅频响应不再是Duffing硬化曲线，而在响应后半段出现“翘尾”现象.接着，建立了非线性谐振器的参激动力学模型，理论分析表明“翘尾”现象是由非线性阻尼和高阶非线性刚度共同作用引起.然后，研究了梁本体的电热电流对参激响应的影响规律，电热电流的引入会增加微谐振器的热弹性阻尼和轴向应力，从而实现响应幅值和共振区间的大幅调控.
内 容：原文可通过湖北省科技资源共享服务平台(https://www.hbsts.org.cn/)获取