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电子行业：中微公司干法刻蚀机台中标量上升－国内半导体设备招投标月度数据跟踪第4期
投资建议：建议关注半导体设备投资标的：上市公司有北方华创、中微公司、华 峰测控、芯源微、至纯科技、长川科技、华兴源创、盛美半导体、精测电子、万 业企业（凯世通）、晶盛机电、光力科技、ASM Pacific，非上市公司有屹唐半导 体、华海清科、沈阳拓荆、上海微电子、睿励科学仪器、东方晶源。
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