中国半导体设备行业短期逻辑看供需波动，长期逻辑为国产化替代，实现行业自主可控。从周期角度来看，2021-2022年为设备需求高峰期，
重点公司订单高增长，印证2022年设备需求仍保持强劲。从长期逻辑来看，近年通过我国本土设备企业的不断努力，厚积薄发，产品不断通过
产线验证，国产化替代进程加快，多领域成熟制程已打破垄断，进入商业化供货阶段，销量和收入已初具规模，行业处于成长初期。我们建议
关注各环节已实现技术突破，并进入商业化供货的重点公司，推荐北方华创、拓荆科技、盛美上海、至纯科技、芯源微、万业企业、华峰测控。

1 半导体行业处于景气周期，推动设备迎风而上..............................................................................7
1.1 设备是奠定产业发展的基石....................................................................................................8
1.2 半导体行业延续高景气带动设备稳定增长..........................................................................10
2 终端缺芯严重，晶圆厂积极扩产，2021-2022 年为设备需求高峰期......................................... 11
2.1 晶圆厂满产，接近零库存、订单交付周期不断拉长.......................................................... 11
2.2 “缺芯”主要为终端产品载芯量高增长所致......................................................................12
2.3 晶圆厂积极扩充产能，驱动设备需求提升..........................................................................16
3 国产半导体设备多环节步入产业化替代阶段................................................................................18
4 行业重点公司收入和销量已上规模，研发高强度投入驱动发展............................................... 33
5 投资建议及重点公司........................................................................................................................34
5.1 投资建议..................................................................................................................................34
5.2 重点公司..................................................................................................................................35
6 风险提示............................................................................................................................................37