为何推荐半导体配套治理？刚需&高壁垒铸就价值！ 半导体制作工序包括设计、制造、封装和测试等环节，制造过程对生产 环境的洁净程度有较高要求；同时，制造过程产生的废水、废气、废渣 也需要进行处理，由此带来半导体配套治理需求。1）半导体配套治理具 体包括：①设备类：洁净室过滤设备、臭氧发生设备、废气/废水/废渣治 理设备；②耗材类：洁净室过滤器、电子特气。2）半导体治理具备刚需 &高壁垒特点：①刚需：洁净室等级&废气治理水平直接关系到产品良 率。②高壁垒：半导体行业洁净室等级&特气纯度要求更高、废气组分 复杂处理难度更大、臭氧发生器对于臭氧的浓度&清洁度&自动化程度& 稳定性要求高于传统领域，彰显技术壁垒；半导体配套治理与生产过程 结合紧密，下游客户对生产稳定性十分注重，客户认证层面的高壁垒彰 显价值。

1. 刚需&高壁垒铸就半导体配套治理价值 ........................................................................................... 4

1.1. 半导体治理直接参与制程保障产品良率，为制程刚性需求................................................. 5

1.2. 技术要求&客户认证彰显半导体配套治理高壁垒 ................................................................. 6

2. 国产替代&耗材模式化&高端制程突破，半导体配套治理空间广阔 ........................................... 8

2.1. 半导体全球景气度高企，中国快速布局产能扩张................................................................. 8

2.2. 设备：国产设备技术突破，废气治理&臭氧国产替代加速 ............................................... 13

2.2.1. 泛半导体废气治理：国产化率约20%，头部公司加速实现国产替代空间翻倍 .... 13

2.2.2. 半导体臭氧单元：国产化率约10%，即将实现突破 ................................................ 15

2.3. 耗材：盈利模式更优&高端制程突破，洁净室过滤器&电子特气稳定增长 .................... 17

2.3.1. 洁净室过滤设备：新建市场龙头地位稳固，耗材市场份额提升............................. 17

2.3.2. 电子特气：晶圆制造第二大耗材，逐步打开高端特气市场国产化局面................. 19

3. 投资建议 ............................................................................................................................................ 21

3.1. 美埃科技：国内电子半导体洁净室过滤设备龙头，产能扩张&海外拓展助加速成长 ... 21

3.2. 凯美特气：食品级二氧化碳龙头，电子特气发展势头强劲驱动公司新一轮成长期....... 22

3.3. 国林科技：臭氧设备龙头纵深高品质乙醛酸，国产化助横向拓展半导体清洗应用....... 22

3.4. 盛剑环境：国内泛半导体工艺废气治理领军企业，纵伸湿电子化学品........................... 23

3.5. 华特气体：产品获国际龙头认证，下游领域拓展............................................................... 24

4. 风险提示 ............................................................................................................................................ 24