关键词：电子枪;镀膜;蒸发台
摘 要：真空镀膜设备是半导体工艺重要工艺设备,蒸发源是镀膜设备的核心部件,以e型电子枪蒸发源为例,介绍了该电子枪的定义、结构、工作原理、使用方法、以及日常维护。从维修的角度,重点总结了e型电子枪的各类故障,给出了处理方法和步骤。
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