根据ASML、Nikon、Canon 公司公告，2022 年全球光刻机总出货台数585 台，总市场规模约177 亿美元。细分来看，I-line、KrF、ArF dry、ArFi、EUV 光刻机市场规模分别为7.63、25.99、8.49、58.92、75.97 亿美元， 占比分别为4%、15%、5%、33%、43%：1）EUV 光刻机、中高端DUV 光刻机从价值量的角度来说占据市场核心位置；2）近年来，EUV 市场规模 快速增长，目前已占整体市场四成以上份额；3）摩尔定律持续向前，我们 认为High-NA EUV 将是2nm 及以下制程工艺的必需设备，其价值量相 较现有EUV 的提升将继续驱动光刻机市场增长。凭借双工件台、浸液系统 的率先推出，ASML 在中高端DUV 市场占据绝大多数份额，通过整合上下 游产业链资源ASML 成为目前全球唯一一家能够量产EUV 光刻机的厂商。