关键词：GaN;高电子迁移率晶体管;温度传感器;灵敏度
摘 要：本文制作了基于无栅Al Ga N/Ga N高电子迁移率晶体管结构的温度传感器,并对其温度相关的电学特性进行了表征.实验测试了器件从50℃到400℃的变温电流-电压特性,研究了器件灵敏度随着器件沟道长宽比的变化,并研究了在300—500℃高温的空气和氮气中经过1 h恒温加热后器件的电学特性变化.理论与实验研究结果表明,随着器件沟道长宽比的增大,器件的灵敏度会随之上升;在固定电流0.01 A下,器件电压随温度变化的平均灵敏度为44.5 m V/℃.同时,稳定性实验显示器件具有较好的高温保持稳定性.
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