零部件是半导体设备产业链的基石，各子赛道组成百亿美元市场。半导体行业 遵循“一代技术、一代工艺、一代设备”的产业规律，半导体设备是延续摩尔 定律的关键所在，其中半导体设备零部件作为设备关键构成要素，是半导体行 业发展的关键支撑。半导体设备零部件产品种类繁杂多样且验证周期长，行业 技术、客户壁垒高企。据我们测算，全球半导体设备零部件市场 2024 年规模 有望超过 540 亿美元，其中中国大陆市场规模约为 187 亿美元。根据富创精 密招股说明书数据，机械类、电气类、机电一体类、气液真空系统类、仪器仪 表类及光学类占半导体设备零部件市场的比例分别为 12%、6%、8%、9%、1% 和 8%。展望未来，AI 等新兴应用的发展将助力半导体市场规模持续增长，进 而带动晶圆厂设备支出、设备零部件市场规模不断提升。