部分实现国产替代代表厂商有华特气体（ASML 供应商），雅克科技（科美特）、昊华科技（黎明院、光明院）、南大光电（飞源气体）；以空分气体或者大化工进入半导体领域，代表企业有巨化股份（中巨芯）、三孚股份、金宏气体、凯美特气、和远气体等。

1. 电子气体是半导体制造的“血液” .... 7

1.1. 集成电路是电子气体主要应用领域 .... 7

1.2. 电子气体是电子制造的“血液” ............ 9

1.2.1. 刻蚀电子气体 . 11

1.2.2. 化学沉积气体 . 12

1.2.3. 离子注入气体 . 12

1.2.4. 外延沉积气体 . 13

1.2.5. 光刻镭射气体 . 13

1.2.6. 惰性保护气体 . 14

2. 半导体材料市场空间广泛 ............. 15

2.1. 中国半导体材料市场稳步增长 .......... 15

2.2. 电子气体是半导体制造材料的第二大耗材 ..... 16

2.3. 政策引导，半导体材料将重点发展 .. 17

2.4. 中国电子气体市场空间巨大 .............. 18

2.4.1. 中国大陆晶圆厂产能持续扩张 ... 18

2.4.2. 产能扩张推动气体市场规模增长 .............. 20

3. 电子气体制备壁垒高 ..... 21

3.1. 技术壁垒  21

3.1.1. 气体纯度壁垒 . 21

3.1.2. 气体精度壁垒 . 22

3.2. 黏性壁垒  22

3.3. 资质壁垒  22

4. 电子气体国产替代势在必行 ......... 23

4.1. 国内企业奋起直追  23

4.2. 欧美企业寡头垄断  24

4.2.1. 美国空气化工产品 ........ 24

4.2.2. 林德集团 ......... 26

4.2.3. 法国液空集团 . 27

4.3. 日本电子特气........ 28

4.3.1. 昭和电工 ......... 28

4.3.2. 太阳日酸 ......... 30

4.3.3. 关东电化工 ..... 32

4.3.4. 艾迪科 ............. 33

4.4. 中国电子特气公司  35

4.4.1. 中航重工（718 所） ..... 37

4.4.2. 昊华科技 ......... 37

4.4.3. 华特气体 ......... 40

4.4.4. 雅克科技 ......... 44

4.4.5. 南大光电 ......... 47

4.4.6. 金宏气体 ......... 49

4.4.7. 巨化股份 ......... 52

4.4.8. 凯美特气 ......... 53

4.4.9. 三孚股份 ......... 54

4.4.10. 和远气体 ....... 56

A 股相关电子气体上市公司 ............. 58