2642 篇
1094 篇
194890 篇
3351 篇
6319 篇
2240 篇
2800 篇
538 篇
29732 篇
9923 篇
3171 篇
767 篇
2308 篇
1326 篇
451 篇
752 篇
1391 篇
2629 篇
2744 篇
4064 篇
行业技术升级加速应用渗透,直写光刻市场如日方升
目前,主要微纳制造技术包括图案化技术、化学机械抛光技术以及薄膜沉积技术等,其中,光刻技术是图案化技术的核心。光刻技术是指利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将设计好的微图形结构转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术,用它加工制造的器件包括:芯片、显示面板、掩模版、PCB 等。光刻技术的主要工艺流程包括预处理、涂胶、曝光、显影、刻蚀和去胶等系列环节,各工艺环节互相影响、互相制约,其中曝光是光刻技术中最重要的工艺环节。
