5379 篇
13902 篇
477807 篇
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2859 篇
3418 篇
641 篇
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1973 篇
4916 篇
3871 篇
5467 篇
行业技术升级加速应用渗透,直写光刻市场如日方升
目前,主要微纳制造技术包括图案化技术、化学机械抛光技术以及薄膜沉积技术等,其中,光刻技术是图案化技术的核心。光刻技术是指利用光学-化学反应原理和化学、物理刻蚀方法,将设计好的微图形结构转移到覆有感光材料的晶圆、玻璃基板、覆铜板等基材表面上的微纳制造技术,用它加工制造的器件包括:芯片、显示面板、掩模版、PCB 等。光刻技术的主要工艺流程包括预处理、涂胶、曝光、显影、刻蚀和去胶等系列环节,各工艺环节互相影响、互相制约,其中曝光是光刻技术中最重要的工艺环节。