投资建议：国产半导体清洗设备厂商迎来行业扩容和国产替代的重要机遇：一方面，随着芯片工艺的进步及芯片结构的复杂化，清洗设备量价齐升，行业规模有望扩容；另一方面，受益于国内芯片产线的加速建设和产能爬坡，国内清洗设备厂商通过差异化路线追赶，份额有望快速提升。建议关注国产半导体清洗设备代表盛美股份、北方华创、至纯科技和芯源微。

一、 序言 .................................................................................................................5

二、 半导体清洗，芯片制造的重要环节....................................................................5

1.1 污染源：颗粒、金属、有机物等沾污，芯片良率下降的罪魁 ................................... 5

1.2 清洗方法：湿法清洗占据主导，物理方法决定工艺难度 .......................................... 7

1.3 本章小结 .......................................................................................................... 10

三、 清洗设备：全球市场超30 亿美元，DNS 是绝对龙头...................................... 11

2.1 清洗设备：芯片良率的重要保障，单片设备成为主流 ........................................... 11

2.2 全球市场规模超30 亿美元，DNS 是绝对龙头 ..................................................... 13

2.3 本章小结 .......................................................................................................... 15

四、 国产替代：差异化路线追赶，国内份额快速提升.............................................16

3.1 差异化路线研发，国产单片、槽式清洗设备全方位追赶 ........................................ 16

3.2 大陆芯片厂开启扩建大潮，清洗设备加速国产替代 .............................................. 17

3.3 本章小结 .......................................................................................................... 20

五、 投资建议 ........................................................................................................20

六、 风险提示 ........................................................................................................20