检测设备是大家关注但是在划分上通常并不清晰的一类设备。我们接下来的一系列报告希望能够深度挖掘检测设备的技术内核以及在不同行业中的不同应用。

1. 前道检测设备vs 测量设备vs 后道测试设备 .... 4

1.1. 半导体检测设备的环节位置 . 4

1.2. 2020 年检测全球约43 亿美元，国内约11 亿美元 ...... 5

2. 国内企业自主研发与并购并举，立志解决卡脖子环节.... 7

2.1. 赛腾股份——收购日企Optima 切入晶圆缺陷检测设备 ............ 7

2.2. 上海睿励/中微公司——中微拟入股睿励，强强联合.. 8

2.3. 中科飞测——背靠中科院，强势崛起，已进入国内大厂 ........ 11

3. 附录：KLA——检测王者，占比过半 ... 12

3.1. 半导体检测设备王者KLA 排名全球半导体设备企业第五........ 12

3.2. 科磊是谁？——全球半导体检测设备王者 ... 13

3.3. 科磊为何能占据半导体检测设备的半壁江山？ ......... 14

4. 风险提示 ....... 19