量/检测设备为半导体制造过程控制的重要组成部分，在生产中监测、识别、定位、分析工艺缺陷，对晶圆厂及时发 现问题、改善工艺、提高良率起到至关重要的作用。其贯穿于芯片制造全程，根据功能可具体分为检测和量测设备, 市场份额占比分别为63%/34%。量/检测设备种类丰富，技术路线分为光学、电子束和X 光检测三类，光学检测为主流 技术路径占比超过80%。量/检测设备种类众多，细分为晶圆缺陷检测、掩膜版检测、关键尺寸量测、膜厚量测、套刻 精度量测等多种设备，其中纳米图形晶圆缺陷检测设备价值量最高，占比25%，同时单台价值量和技术壁垒也较最高。

一、半导体制造端“标尺”把关良率，全球百亿美元市场空间广阔...................................... 5

1、半导体量/检测设备贯穿制造全流程，前道占比11%，全球百亿美元市场 .......................... 5

2、量/检测设备细分种类众多.................................................................. 7

3、下游产能扩张+工艺节点推进驱动量/检测行业持续发展......................................... 8

二、量/检测设备种类丰富，技术原理不尽相同，行业壁垒高........................................... 9

1、检测设备：（纳米）图形晶圆缺陷检测占比最高，光学检测技术为主.............................. 9

2、量测设备：技术复杂、关键尺寸量测占比高.................................................. 12

三、国外寡头垄断市场，国产设备不断突破......................................................... 15

1、国外寡头垄断市场，KLA 占比超过50%....................................................... 15

2、KLA：半导体量/检测设备全球龙头，一家独大................................................ 17

3、国内设备国产化率空间极大，产品覆盖率及制程先进程度差距大................................ 19

四、国内设备厂商内生+外延快速发展.............................................................. 21

1、中科飞测：国内无图形晶圆检测龙头，部分型号可对标KLA .................................... 22

2、精测电子：前道量/检测设备订单爆发性增长................................................. 23

3、赛腾股份：收购Optima 进军半导体晶圆缺陷检测领域......................................... 24

4、睿励仪器：中微公司持股30%，国内最早的量测设备公司 ...................................... 25

5、天准科技：收购MueTec：检测量测产品宽度广，掩膜版等领域填补空白 ......................... 25

五、投资建议................................................................................... 25

六、风险提示................................................................................... 26