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半导体行业：设备卖铲人，半导体设备零部件需求测算－专题报告
半导体设备根据功能分区，其零部件通常可分为：光学系统、 机械类、电气类、机电一体类、气体输送系统、真空系统、附 属设备、仪器仪表、气动系统类、二次配设施、工艺材料类。
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