全球半导体设备支出进入上升周期。5G、物联网、大数据、人工智能以及汽车电子等新技术和新产品的应用，将带来庞大的半导体市场需求，行业将进入新一轮的上升周期。半导体设备位于产业链的上游，其市场规模随着下游半导体的技术发展和市场需求而波动。根据SEMI 预测，2020 年全球半导体设备市场规模达创纪录的689 亿美元，同比增长16%，2021 年将达719 亿美元，同比增长4.4%，2022年仍旧保持增长态势，市场将达761 亿美元，同比增长5.8%。

1. 半导体产业链解析....................................................................................................... 7

1.1. 半导体产业运作的两种模式：IDM 和垂直分工模式............................................ 7

1.2. 硅片制造............................................................................................................. 8

1.3. 晶圆制造........................................................................................................... 10

1.3.1. 热处理工艺............................................................................................... 11

1.3.2. 光刻工艺................................................................................................... 11

1.3.3. 刻蚀工艺................................................................................................... 14

1.3.4. 离子注入工艺............................................................................................ 17

1.3.5. 薄膜沉积工艺............................................................................................ 18

1.3.6. 化学机械研磨工艺.................................................................................... 22

1.3.7. 清洗.......................................................................................................... 22

1.4. 测试与封装........................................................................................................ 23

1.4.1. 测试.......................................................................................................... 23

1.4.2. 封装.......................................................................................................... 25

2. 产业格局不断变化，中国或将成为产业重心............................................................. 26

2.1. 行业进入新一轮上升周期.................................................................................. 26

2.2. 全球产业转移，中国市场高速成长.................................................................... 26

3. 半导体设备市场再创新高，国产化替代空间广阔...................................................... 30

3.1. 全球半导体设备市场或超710 亿美元............................................................... 30

3.2. 细分市场高度集中，海外龙头处于垄断地位..................................................... 31

3.3. 国内半导体设备市场将超千亿，国产替代空间广阔.......................................... 35

3.4. 政策资金双轮驱动，助力半导体设备国产化..................................................... 36

3.5. 国产设备厂商奋起直追，设备国产化进行时..................................................... 38

3.5.1. 平台型国产半导体设备龙头：北方华创.................................................... 38

3.5.2. 国产刻蚀设备的先行者：中微公司........................................................... 39

3.5.3. 深耕测试机领域的国产设备商：华峰测控................................................ 40

4. 行业评级.................................................................................................................... 43

5. 风险提示.................................................................................................................... 44