2020/2021Q1半导体设备行业整体业绩正向高速增长。在半导体设备板块，我们选取的标的主要有【北方华创】、【中微公司】、【华峰测控】、【华兴源创】、【至纯科技】、【芯源微】、【长川科技】、【万业企业】。【精测电子】，【晶盛机电】仅部分业务属于半导体设备行业，故未加入标的公司。①2020年在疫情背景下，半导体设备行业仍实现业绩高增长。行业营收合计139亿元，同比+26%，归母净利润合计22亿元，同比+47%。行业平均毛利率49%，平均净利率16%。在2020Q1延续高增长态势，实现营收同比+61%，归母净利润比+273%，毛/净利率分别为57%/17%。②预收+存货显示在手订单充裕，产能扩张保证中短期业绩。2020年，半导体设备行业预收账款及存货合计分别为43/87亿元，同比+70%/24%，2021年一季度升至55/104亿元，同比+58%/39%。国产设备厂商加速扩产，半导体设备行业保持高景气增长。③2020年半导体设备行业经营性现金流显著改善，2020年为28.9亿元，同比+430%，其中20年四季度净额达到21.53亿元，主要系营运能力大幅提升。2020年行业存货周转天数401天，同比-83天，应收账款周转天数95天，同比+6天。