2646 篇
1094 篇
194911 篇
3352 篇
6319 篇
2242 篇
2800 篇
538 篇
29740 篇
9936 篇
3171 篇
767 篇
2308 篇
1326 篇
451 篇
752 篇
1391 篇
2629 篇
2744 篇
4066 篇
博采众星之光,点亮皇冠明珠
集成电路的工序之复杂与精细堪称人类工业文明的皇冠,而光刻机则是这个皇冠上的明珠。随着半导体产业不断迭代,其加工工艺亦面临重重挑战。而在芯片生产过程中最大的挑战之一,即是光刻工艺,其决定了芯片晶体管尺寸的大小,从而直接影响芯片性能和功耗。作为光刻技术的关键设备,光刻机单台价值量高达上亿美元,其购置成本达到半导体设备总投资的20%以上,是芯片制造前道工艺七大设备之首。
