2610 篇
1069 篇
240053 篇
3269 篇
7548 篇
2220 篇
2770 篇
532 篇
37516 篇
9341 篇
3134 篇
745 篇
2291 篇
1315 篇
449 篇
752 篇
1387 篇
2596 篇
2739 篇
3982 篇
博采众星之光，点亮皇冠明珠
集成电路的工序之复杂与精细堪称人类工业文明的皇冠，而光刻机则是这个皇冠上的明珠。随着半导体产业不断迭代，其加工工艺亦面临重重挑战。而在芯片生产过程中最大的挑战之一，即是光刻工艺，其决定了芯片晶体管尺寸的大小，从而直接影响芯片性能和功耗。作为光刻技术的关键设备，光刻机单台价值量高达上亿美元，其购置成本达到半导体设备总投资的20%以上，是芯片制造前道工艺七大设备之首。
索取原文[123 页]
027-87841330