在微电子、光电子器件生产过程中，从芯片生长到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体被称为半导体材料的“粮食”和“源”。

1、 电子气体的概述  5

1.1、 电子气体的定义 . 5

1.2、 气体发展历史 ..... 5

1.3、 电子气体分类 ..... 6

1.4、 气体纯度标准 ..... 7

1.5、 气体制造主要技术 .......... 7

2、 重要电子气体介绍 ......... 9

2.1、 硅烷（SiH4）：最好的硅源材料，用于外延晶体生长 ..... 9

2.2、 砷烷（AsH3）：独一无二的砷源化合物，因剧毒国内目前难以生产 .... 10

2.3、 一氧化二氮（N2O）：介质膜工艺气体，目前国内产能即将爆发 ......... 11

2.4、 氨气（NH3）：电子工业中氮化膜的成膜气体，是化学气相沉积重要的“氮”源 ........ 11

2.5、 三氟化氮（NF3）：气体清洗剂，目前国内已打破技术垄断 ..... 12

3、 中国电子气体现状 ....... 13

3.1、 行业集中度高，本土企业逐步崛起 ...... 13

3.2、 短期技术难以攻克 ........ 14

3.3、 国产电子气体难以进入集成电路等领域 ........... 15

3.4、 行业壁垒明显 ... 15

3.5、 国家政策积极推进 ........ 17

3.6、 未来发展趋势 ... 18

4、 在半导体芯片行业中的应用 .... 21

4.1、 制程介绍 .......... 21

4.2、 电子气体的应用 ........... 22

4.3、 市场规模分析 ... 24

5、 在半导体照明行业的应用 ........ 26

5.1、 制程介绍 .......... 26

5.2、 电子气体的应用 ........... 26

5.3、 市场规模分析 ... 27

6、 在平板显示行业的应用 ........... 28

6.1、 制程介绍 .......... 28

6.2、 电子气体应用 ... 28

6.3、 市场规模 .......... 29

7、 在太阳能电池行业的应用 ........ 30

7.1、 制程介绍 .......... 30

7.2、 电子气体应用 ... 31

7.3、 市场规模 .......... 32

8、 国际主要厂商 .. 34

8.1、 美国空气化学 ... 34

8.2、 普莱克斯集团 ... 34

8.3、 法国液化空气集团 ........ 35

8.4、 林德集团 .......... 35

9、 国内主要厂家 .. 37

9.1、 中昊光明化工院 ........... 37

9.2、 中船重工 718 所 ......... 37

9.3、 北京绿菱气体科技有限公司 ..... 38

9.4、 南大光电 .......... 38

9.5、 巨化集团 .......... 39

9.6、 华特气体 .......... 40

9.7、 和远气体 .......... 41

9.8、 金宏气体 .......... 41

9.9、 凯美特气 .......... 42

9.10、 三孚股份 ........ 43

9.11、 雅克科技......... 43

9.12、 中国燃气工业投资控股有限公司 ........ 44

10、 投资建议 ....... 45

10.1、 和远气体：华中地区最大气体供应商  45

10.2、 华特气体：中国特种气体国产化先行者 ......... 49

10.3、 雅克科技：转型后崛起的半导体新材料龙头.. 53

10.4、 昊华科技：含氟电子特气领导者 ........ 57

10.5、 南大光电：中国特种气体龙头企业 .... 62

11、 风险分析 ....... 66