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先进封装高密度互联推动键合技术发展,国产设备持续突破——半导体键合设备行业深度

加工时间:2025-03-12 信息来源:EMIS 索取原文[42 页]
关键词:键合;先进封装;晶圆
摘 要:

半导体封装技术不断发展,键合种类多元。键合(Bonding)是通过物理或化学的方法将两片表面光滑且洁净的晶圆贴合在一起,以辅助半导体制造工艺或者形成具有特定功能的异质复合晶圆。键合技术有很多种,通常根据晶圆的目标种类可划分为晶圆-晶圆键合(Wafer-to-Wafer,W2W)和芯片-晶圆键合(Die-to-Wafer,D2W);根据键合完成后是否需要解键合,又可分为临时键合(Temporary Bonding)和永久键合(Permanant Bonding)。



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