关键词：含氟电子气体;三氟化氮;六氟化钨;四氟化碳;电子级六氟化硫
摘 要：介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。
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