关键词：化学机械抛光;铝合金;壳寡糖;环保;弱钝化
摘 要：在低平坦化压力下用壳寡糖(COS)环保型络合剂及H_2O_2氧化剂化学机械抛光铝合金,用原子力显微镜观测抛光后的表面质量,并用X射线光电子能谱仪分析其表面的钝化膜元素,用纳米压痕仪分析钝化膜的力学性能,研究COS及H_2O_2对铝合金CMP的作用机理。结果表明:H_2O_2质量分数为2%时,材料去除率随COS含量的增加而增大,当COS质量分数为0.32%时,材料的去除速率达861 nm/min,表面粗糙度最低为2.50 nm;COS质量分数为0.50%时,材料去除率随H_2O_2含量的增加先增大后减小,当H_2O_2质量分数为1.2%时,材料的抛光去除速率达840 nm/min,同时其表面粗糙度为3.52 nm。加入COS络合剂会在铝合金表面形成主要成分为Al-COS、Al_2O_3和Al(OH)_3的弱钝化膜。
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