半导体设备是半导体产业进步的核心发动机。踏着 “摩尔”的旋律，每

更新一代半导体工艺制程，则需新一代更为先进的制程设备，未来3nm

时代1 万片/月产能需要约100 亿美元的投资，比10 年前增加了12 倍。

其中65%~70%投资额将投入到设备领域。随着5G、人工智能和万物互

联等先进制程需求增长，对半导体设备需求日益增长。Semi 预计，19-21

年全球设备市场销售规模分别为576/608/668 亿美元，复合增速约8%，

其中中国市场增速快于全球市场，约为10%~16%。

科技进步推动设备投资额台阶式上升 ............................. 5

半导体设备是半导体产业进步的核心发动机 .......... 5

在新一轮科技创新推动下，半导体设备产业迎来加速增长 .................................. 5

工艺制程世代升级催化新一代半导体制程设备，投资规模逐级提升 .................... 6

拆分细分半导体设备投资占比，光刻、沉积、刻蚀和清洗等投资占比较高 ......... 6

全球半导体设备海外公司寡头垄断 ................................. 8

半导体设备产业链全景图 ....................................... 8

全球半导体设备市场集中度较高， 主要设备龙头CR4 达57% ........................... 9

细分环节核心设备均被海外公司寡头垄断.............. 9

半导体设备国产化是中国半导体产业振兴的起点 ......... 12

下游需求自主可控将拉动国产设备近千亿市场需求 ........................................... 12

中国国产替代走上核心战略，龙头公司市场空间有10 倍以上 ........................... 14

全球主要半导体龙头公司及半导体设备龙头公司梳理 ........................................ 15

半导体设备A 股重点上市公司 ............................. 17