中国是全球最大的半导体消费市场，随着产能逐渐向中国转移，叠加国家扶持创建的良好政策环境，中国半导体产业链公司迎来了绝佳发展机会，本土半导体厂商的替代空间巨大。半导体设备作为半导体产业进步的核心发动机，踏着 “摩尔”的旋律，每更新一代半导体工艺制程，则需新一代更为先进的制程设备，未来3nm 时代1 万片/月产能需要约100亿美元的投资，比10 年前增加了12 倍。其中65%~70%投资额将投入到设备领域。随着5G、人工智能和万物互联等先进制程需求增长，投资需求向设备端传导，对半导体设备需求日益增长，Semi 预计，19-21 年全球设备市场销售规模分别为576/608/668 亿美元，复合增速约8%，其中中国市场增速快于全球市场，约为10%~16%，从具体项目来看，未来3 年中国有超过20 家FAB 厂扩产或新建，测算设备投资规模达760~830亿元，目前设备平均国产化率仅5%~10%，大部分细分设备市场份额均由海外龙头占据，国内设备厂商正从难度较低到较高的设备逐步实现从0 到1 的突破，在当前政策、资金等充分支持及国内需求大幅向好的背景下，半导体设备产业链国产化有望提速，龙头公司成长空间巨大，将迎来高速成长期。建议重点关注半导体设备龙头北方华创、中微公司以及半导体真空泵国内龙头汉钟精机。

2 月行情回顾 ............ 4

2 月机械板块重点推荐组合表现 ............... 4

2 月机械板块上升0.94%，跑赢沪深300 2.53 个点 .... 4

2 月机械板块TTM 市盈率下行 ................ 5

2 月机械子行业中光伏设备、新能源汽车设备、冷链设备涨幅靠前 . 6

半导体装备产业链梳理................. 8

科技进步推动设备投资额台阶式上升 ....... 8

全球半导体设备海外公司寡头垄断 .........11

半导体设备国产化是中国半导体产业振兴的起点 ....... 15

全球主要半导体龙头公司及半导体设备龙头公司梳理  20

半导体真空设备国产化替代有望加速，重点推荐汉钟精机 ............. 21

风险提示 ................ 25

国信证券投资评级 .. 26

分析师承诺 ............ 26

风险提示 ................ 26

证券投资咨询业务的说明 ........... 26