当前中国存储器产业面临历史性机遇，促

使国内存储器厂商积极进行工艺研发与产能建设，长期性与规模性的下游投资将对国产装备创造极佳的成长环

境。其中长江存储与合肥长鑫都将在2020 年进入积极的产能爬坡期，预期将促使设备需求大幅增长。根据集

邦咨询数据，19 年Q4 长江存储产能2 万片/月（12 英寸），2020 年底有望扩产至7 万片/月；合肥长鑫目前产

能已达到2 万片/月，预计2020 年第一季度末达到4 万片/月。我们测算2020-2022 年本土存储器厂设备投资

分别为291.9 亿元/519.7 亿元/860.4 亿元，分别同比增长231%/78%/66%。

一、国内存储器投资空前，装备国产化发展空间广阔 ........................................................ 5

（一）国内存储器投资：具备长期性与规模性，2020 年迎增速向上拐点 ................. 5

（二）本土存储器厂国产化逻辑清晰，助力国产装备加速发展 ................................. 8

二、存储器发展对半导体设备需求趋势影响..................................................................... 11

（一）刻蚀设备：投资占比提升，高深宽比刻蚀及ICP 刻蚀需求增加 ................... 11

（二）测试设备：将直接推动存储器测试设备快速增长 .......................................... 15

（三）过程工艺控制：高深宽比存储结构带来的良率控制难题 ............................... 18

（四）清洗设备：清洗步骤不断增加，清洗更具挑战性与关键性 ........................... 22

三、投资建议与风险提示 .................................................................................................. 25