半导体设备零部件是半导体行业的基石，行业空间大、赛道多。海外对华半 导体限制之下，国产半导体设备零部件厂商承担替代重任，同时这也为相关 公司提供了历史性的增长机遇。

半导体设备零部件是半导体行业的“基石” .................................................... 5

零部件间接推动半导体产业迭代升级 ................................................................................................. 5

半导体设备及零部件产业链 ................................................................................................................. 6

半导体设备零部件空间大，赛道广 ................................................................ 7

中国大陆晶圆制造厂逆势扩产 ............................................................................................................. 7

全球半导体设备零部件市场规模达到数百亿美元 ............................................................................. 8

半导体设备零部件赛道多，分类细 ................................................................................................... 10

半导体设备零部件国产替代正当时 .............................................................. 12

美国对华科技打压趋势不可逆转，日荷跟进限制 ........................................................................... 12

半导体设备国产化进入零部件深水区 ............................................................................................... 13

投资摘要 .......................................................................................................... 15

风险提示 .......................................................................................................... 16

富创精密 .............................................................................................................................................. 17

中瓷电子 .............................................................................................................................................. 24

英杰电气 .............................................................................................................................................. 32

机器人 .................................................................................................................................................. 36

新莱应材 .............................................................................................................................................. 45

富乐德 .................................................................................................................................................. 52