全球半导体设备龙头中，ASML、Lam Research、TEL、Teradyne、 Advantest 等陆续公布一季报，作为半导体设备行业先行指标之一，ASML 光刻机订单环比增长 28%，同比增长 120%；Lam Research 也表示年内设 备需求保持旺盛，先进制程战略性投资刚性。国内中微、北方华创等也陆续 公布年报一季报，工艺设备逐渐成为公司业绩主要增长点，而精测电子、中 科信、芯源微等的工艺设备在 2019 年前后获得零的突破，凸显半导体设备 国产化进程加快及全面突破趋势。

14 家企业中有 9 家同比正增长，其中增速在 20%以上的 有 6 家，包括沪硅产业、安集科技、南大光电、江丰电子、有研新材和 江化微；整体平均增速为 18%，中位数为 10%。